S-neox 3D光學輪廓儀

產品描述

全新設計的3D光學輪廓儀S neox顛覆傳統，將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術融合于一身，測量頭內無運動部件。

主要功能

共聚焦

共聚焦技術可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.10um。利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的鏡頭時，共聚焦在光滑表面測量斜率達70°（粗糙表面達86°）。專利的共聚焦算法保證Z軸測量重復性在納米范疇。

干涉

ª 相位差干涉 (PSI)

相位差干涉是一種亞納米級精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術。它的優勢在于任何放大倍數都可以保證亞納米級的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實現超高縱向分辨率的大視場測量。

ª 白光干涉 (VSI)

白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術。它的優勢在于任何放大倍數都可以保證納米級的縱向分辨率。

多焦面疊加

多焦面疊加技術是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據Sensofar在共聚焦和干涉技術融合應用方面的豐富經驗，特別設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該技術的最大亮點是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（最大86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。

※薄膜測量

用分光反射計可以完善地解決薄膜厚度測量。S neox 在增加了分光反射計后可以測量10nm的膜厚和最多10層膜。由于是通過顯微鏡頭測量，最小的測量點為5um。因為系統里有組合的LED光源，所以實時觀察和膜厚測量能同時進行。

測量及分析軟件

SensoSCAN

SensoSCAN是一款簡潔友好的操作軟件。它將引領用戶進入3D的世界，提供獨一無二的用戶體驗。在軟件界面內，用戶可以直觀明確地了解所用的測量方式，同時還能顯示和分析數據。

強大的專業分析軟件

增配SensoPRO LT 或SensoMAP軟件就能輕易實現全自動測量和分析。  

物鏡及系統參數

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