IPEX^TM 840/860系列工業級準分子激光器

應用于電子、通信、半導體、醫療設備和脈沖激光沉積的工業級準分子激光器

ª 采用ICON^TM技術，延長氣體壽命，降低成本

ª EasyClean自動密封鏡片功能，可在清洗更換鏡片時密封激光腔

ª 可選高亮度光學元件，來滿足要求小發散角和長相干長度的應用

ª 高穩定鏡片支架可獲得極高的光束指向精度

ª 易于集成到工業加工系統

IPEX-840/860系列準分子激光器性能優越、可靠性高，廣泛適用于使用要求高、生產負荷重的各種工業制造領域，如電子、半導體和醫療設備制備以及脈沖激光沉積（PLD）等應用。由于采用了ICONTM(鎳基集成陶瓷)技術，IPEX系列激光器既降低了運行成本，又能提供優秀的光學性能。對于需要長工作光路和小發散角（激光雷達），或需要長相干長度（FBG刻寫）以及需要改進聚焦性能的場合，可以選擇高亮度（非穩腔）鏡片。IPEX-840/860系列激光器具有易于使用、便于維護和運行經濟的特點，它將高精密準分子激光加工、低運行成本和高運行時間很好地結合在一起，是一款不可多得的優秀的準分子激光器。

特點

ª ICON激光腔

ª EasyClean自動密封鏡片功能

ª 先進的鏡片支架

ª 專利的腔鏡固定技術

ª 能量穩定控制

ª 預電離

ª 內部氣體過濾設備

優點

ª 氣體壽命長，更換時間間隔長，運行成本低

ª 簡化了光路維護，填充氣體和鈍化效果保持長久

ª 200μrad指向穩定性

ª 鏡片清潔重裝后不需要重新調節

ª 快速、精確、穩定的能量控制，可選內、外觸發和Burst工作模式

ª 優異的能量穩定性，≤1.5% (KrF)

ª 去除微粒，保持主鏡片潔凈

規格

激光器規格參數詳見產品手冊或者咨詢我司銷售。

• TEC-30 智能實驗室激光器系統 - Cheetah系列
• TEC-70 智能蝶形激光器系統- Cheetah系列
• TEC-42 納秒脈沖激光器-Cat系列
• LSV3-緊湊準分子激光微加工系統
• MicroMaster準分子激光微加工系統
• ProMaster終極緊湊準分子激光微加工系統
• MAS-300準分子激光微加工系統
• LB-R1準分子激光微加工智能系統
• Light Bench-Rx準分子激光微加工系統
• 飛秒激光加工機床FemtoFAB
• 實驗室用飛秒激光加工系統 FemtoLAB
• 激光雕刻系統ELS-03, ELS-04
• 激光電纜打標機
• PLD系列準分子激光器
• LAP2000 Laser Processing Tool
• ATLEX-1000-I 高重頻準分子激光器
• 可定制脈沖激光沉積（PLD）系統