IPEX 740/760 PLD系列準分子激光器

基于IPEX800系列工業級準分子激光器，專為PLD應用進行了性能優化

IPEX-740/760系列準分子激光器將ICON和GasMiser-1000兩種技術結合，展現出卓越的性能、高氣體壽命、高可靠性，易于被脈沖激光沉積（PLD）領域的研究者和系統集成商進行系統整合。

特點：

ª GasMiser-1000選件與ICON技術相配合，可延長氣體壽命，降低運行成本

ª 優異的光斑均勻性和脈沖與脈沖間能量穩定性，脈沖寬度短

ª 在所有重復頻率下，能量都保持恒定

ª EasyClean自動密封功能可保持氣體填充和減少維修停機時間

ª 高穩定的光學支架可獲得極佳的光束指向精度

ª 可定制光束傳輸系統，以適合特殊的PLD應用需求

性能穩定，可信賴的PLD用激光器

ª 恒定脈沖能量：將ICON和GasMiser-1000兩種技術結合的IPEX-740/760系列準分子激光器，在單次換氣后都具有無與倫比的動態和靜態氣體壽命。從單次到最大重復頻率，脈沖能量在所有重復頻率都恒定。這種方法保證了PLD工藝參數不會隨激光器工作時間和重復頻率的變化而改變。

ª 恒定脈沖穩定性：采用先進的能量監測方式來調節脈沖能量，可以準確地調節放電電壓和混合氣體，所有工作條件下（包括Burst模式）都保持恒定的輸出能量。脈沖與脈沖間穩定性優于1%。

ª 恒定指向穩定性：高穩定性的核心光學元件支架，提供優于200μrad的指向穩定性，確保光學維修后不需要重新校準。

ª 恒定光束質量：IPEX-740/760系列激光器的光束強度分布被設計為邊緣陡峭，頂部平坦，特別是在激光腔工作壽命內變化極小。

技術規格

IPEX-740/760系列準分子激光器的技術規格詳見產品手冊或者咨詢我司銷售。

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• TEC-70 智能蝶形激光器系統- Cheetah系列
• TEC-42 納秒脈沖激光器-Cat系列
• LSV3-緊湊準分子激光微加工系統
• MicroMaster準分子激光微加工系統
• ProMaster終極緊湊準分子激光微加工系統
• MAS-300準分子激光微加工系統
• LB-R1準分子激光微加工智能系統
• Light Bench-Rx準分子激光微加工系統
• 飛秒激光加工機床FemtoFAB
• 實驗室用飛秒激光加工系統 FemtoLAB
• 激光雕刻系統ELS-03, ELS-04
• 激光電纜打標機
• IPEX840/860系列工業級準分子激光器
• LAP2000 Laser Processing Tool
• ATLEX-1000-I 高重頻準分子激光器
• 可定制脈沖激光沉積（PLD）系統