高性能，多功能準分子激光微加工系統-龐大的系統融入緊湊，符合人體工學的結構。
特點：
1. 激光光束量度高且短脈沖
2. 電腦控制無級變縮防護光學系統
3. 在剛性花崗巖框架上協調X,Y進行零件定位，分辨率為- 1µm
4. 機動Z軸/焦點控制
5. TTL和導航相機， PRS可選
6. 綜合流程功率軟件
7. CAD/CAM界面
8. 快速響應時間，友好的用戶使用界面
典型應用：
1. 選擇性的去除聚合物
2. 微型鉆孔/開槽
3. 微銑削/表面結構
4. 3D結構，含透鏡
5. 薄金屬膜圖案
6. OLEDs，微流體，傳感器
7. 聚合物-陶瓷-金屬-無機材料
性能：
— 激光微加工具有最小熱影響區的材料包括各種不同的聚合物，陶瓷，玻璃，金屬，薄膜。在248nm和193nm間可用光學轉換套件轉換。
— 典型特征規格5mm – 2mm。掩模選項包括32位主題選擇，和/或MRA矩形形狀選項。組合圖案可能通過組合主題選擇激光發射和部分移動來建立復雜模式超過300×300mm。
— 通過聚光透鏡可觀測到零件，它具有獨特的共焦特性；當零件在CCTV監視器上顯現處于焦點之上時，激光束會自動的在零件上對準焦點，發出激光對突出區域進行精確加工。
— 選擇不斷變化的demag，4-20X最好的適合程序，全自動的調節（獨特的MM特點）
— 適應不同材料的能量密度范圍0.25-10J/cm2，友好的車載適航程序幫助確定最佳工藝參數。
— 材料完美的深度控制依賴加工率0.05 – 5mm/激光射擊， S / W例程幫助確定最佳條件。
— 分辨率1.5 µm；階躍對比函數15-85% 1.5µm
— 屏幕寬高比依賴于材料與能量密度，在10°墻壁角與接近0錐度之間
操作簡單：
1. 集成化系統
2. 加工位置用戶可自調
3. 互鎖安全罩
4. Class 1激光系統
5. 符合CE標準
要求：
單相電源220 VAC/115 VAC
預混合且充足的氣體
聯系我們 
MicroMaster準分子激光微加工系統details Document
