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LSV3-緊湊準分子激光微加工系統
: 商品貨號：ECS002619; 商品品牌：Optec; PDF 文檔： LSV3-緊湊準分子激光微加工系統details Document

詳細介紹

LSV3-小型微加工系統

極短的準分子激光脈沖輸出10-20mJ，相當于兆瓦的峰值功率，可以應用在快速成型，微加工和微電子領域。

可用于生物芯片、聚酯、玻璃、硅片、薄金屬、陶瓷等材料的加工。

相比其它準分子激光器ATLEX的優勢：

特性和規格:

機器類型	LSV3頭部含n.a。0.2 193nm鏡頭, 同軸照明及顏色聚焦。TTL 檢視。
結構	黑色亞光處理，焊接鋼框架,輝長巖基地，橋形結構，蜂巢形光學控制臺，光學滑軌。
激光源	ATL Atlex準分子激光。
能量控制	AT4010 5-85%手動，外加通門控制
面罩的光束控制	動態系統鏡面
面罩	機械線性順序選擇器
德馬格設計	德馬格開關:10X & 16X
目標成像分辨率	1.5μm
目標區	達10J/cm²
零件支撐	TBD
零件移動	100×100mm 運動區域,150×150mm 選擇范圍
位置重復性	1μm
速度	200mm/s(受軟件限制)
系統控制	工業PC, A3200 控制器，過程功率2010
Beath路徑	管式，沖刷式
安全性	互鎖功能，符合CE標準，輕型塔式

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